多功能光电器件制备及测试系统
生产厂商
中国沈阳顶盛
型号
定制
主要技术指标：
五室串列型多功能薄膜制备系统，工作真空温度<500度；氩弧光轰击处理样品表面；真空度<6.6x10-5Pa；可以进行真空净化、传输，具备连续镀膜，多源共蒸，器件封装等功能。台式匀胶机双转速；转速500～8000rpm；真空手套箱水<0.3ppm 氧<0.1ppm.
应用领域：
制备光电功能器件中的高平整度纳米级超薄膜
