台阶仪
生产厂商
美国KLA-Tencor公司
型号
D-100
主要技术指标：
最大扫描长度30mm；最大采样点数120000；测量力0.03-10mg；探针曲率半径2.0μm；彩色摄像头；最大样品厚度30mm；最大垂直测量范围800μm，垂直分辨率0.38Å；样品台直径140mm，可旋转；保证5 Å重复性；样品双向扫描，方便定位和扫描。
应用领域：
薄膜厚度测量； 薄膜应力测量； 样品表面粗糙度测量。
