X射线光电子能谱仪
生产厂商
日本岛津
型号
AXIS UltraDLD
主要技术指标：
真空度：烘烤后优于7×10-8 Pa；
能量分辨和灵敏度：最佳能量分辨0.48 eV（ /2峰）时计数率不小于325 kcps；
能量范围：0～3,000eV；
FAT（XPS／UPS）模式，FRR（AES）模式；
检测器：延迟线检测器（DLD）；
全自动单电子源荷电中和器。
应用领域：
广泛应用于物理学、微电子技术、化学、材料科学等多学科领域，可以分析材料的表面化学组成及化学态、表面化学图象、样品深度剖析。电子能谱是研究各种镀层、涂层和表面处理层(钝化层、保护层等)的最有效手段，广泛应用于金属，高分子等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断裂等方面的分析。
